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硅基底平面波导光通讯集成器件的模拟、设计及工艺

Design,simulation and fabrication technique of integrated silica-based planar optical waveguide devices

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【作者】 何赛灵殷源戴道锌盛钟延王谦吕俊周勤存

【Author】 HE Sai-ling, YIN Yuan, DAI Dao-xin, SHENG Zhong-yan, Wang Qian, LU Jun, ZHOU Qin-cun (Centre for Optical & Electromagnetic Research, Dept. of Optical Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China)

【机构】 浙江大学光电系光及电磁波研究中心浙江大学光电系光及电磁波研究中心 浙江杭州310027浙江杭?

【摘要】 随着平面波导制作工艺的日益成熟 ,制造精度的不断提高 ,成本的持续下降 ,平面波导光集成器件尤其是 Si基底上 Si O2 平面波导集成器件在光通信系统中的应用更加重要和广泛 .Y分支分束器、MMI耦合器、阵列波导光栅 (AWG)和蚀刻衍射光栅 (EDG)等平面波导集成器件正扮演着越来越重要的作用 ,BPM等数值计算方法在这些器件的设计和模拟中也起了重要作用 .本文就此作了一些探讨 .

【Abstract】 Silica-based integrated optical technology is reviewed. Design and sim ulation for devices on Silica-based planar optical waveguide such as MMI couple r , AWG and EDG are discussed, some simulated results finished by COER of Zhejaing University using BPM are given. And the very important and widely used modal-s o lving technique in integrated photonic devices design and simulating, the beam p ropagation method, is discussed also.

  • 【文献出处】 中国计量学院学报 ,Journal of China Institute of Metrology , 编辑部邮箱 ,2001年02期
  • 【分类号】TN252
  • 【被引频次】16
  • 【下载频次】261
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