快速高精度转速的测量和控制

【摘要】 1　引　　言在大规模集成电路的飞速发展过程中 ,芯片电路的集成度愈来愈高 ,硅片上胶膜的厚度和均匀性直接影响光刻的效果和产品的质量 ,对大规模集成电路专用设备硅片处理系统尤其对速度及加速度控制提出了更高的要求。在我们参与研制的某硅片处理系统中 ,采用了变周期测速法 ,保证了测速的精度及测速的快速响应。2　系统与测速原理本系统要求的调速范围较宽 ,采用微型计算机进行直接数字量控制。系统由 PC工控机和多个 80 31单片机组成 ,系统的加速度给定和速度给定由上位 PC机设置 ,通过 RS- 2 32串行通信传输给单片机 ,单片机先根据加速度给定值通过 D/A转换、PWM控制、驱动直流电机进行加速更多还原