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镀膜玻璃层结构及成分的俄歇电子能谱分析
The Structure and Components Analysis of the Film of a Filmed-glass by AES
【摘要】 利用俄歇电子能谱仪测试了一种镀膜玻璃的表面层成分 ,并利用深度剖析的方法测试分析了其镀膜层的结构 ,估算了镀膜层的厚度。
【Abstract】 In this paper,the surface components of a filmed galss are measured and the film structure of the glass is analyzed by AES depth profile,and the depth of the film is estimated by an indirect way.
【关键词】 俄歇电子能谱仪；
镀膜玻璃；
深度剖析；
膜厚；
【Key words】 Auger elctron spectroscope； filmed glass； depth profile； depth of a film；
【Key words】 Auger elctron spectroscope； filmed glass； depth profile； depth of a film；
- 【文献出处】 现代科学仪器 ,Modern Scientific Instruments , 编辑部邮箱 ,2001年06期
- 【分类号】O657.62
- 【被引频次】1
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