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ZQJ-8自动去胶机设计与制造

Design and Manufacturing of ZQJ-8 Automatic Washing Machine for Silicon Wafer

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【作者】 吴燕严瑞芳沈军

【Author】 WU Yan,YAN Rui fang,SHEN Jun (Wuxi Huajing Electronic Equipment Manufacture CO.,LTD,Wuxi Jiangsu 214061,China)

【机构】 无锡华晶电子设备制造有限公司无锡华晶电子设备制造有限公司 无锡214061无锡214061无锡214061

【摘要】 本文主要介绍ZQJ 8自动去胶机的设计与制造 ,着重介绍该设备在机械设计与制造过程中的主要技术难点和解决方法 ,以及该设备投入使用所取得的经济效益和社会效益。

【Abstract】 The design and manufacturing of ZQj 8 automatic washine machine for silicon wafer are described in the paper.Emphasis is placed on the technnical key points and difficulties,occurred during design and manufacturing.The public and economical benefits are estimated if its application is eztenede to more production lines.

【关键词】 传送加热硫酸去胶清洗
【Key words】 TransferHeatingH 2SO 4Photo resist removingWashing
  • 【文献出处】 微电子技术 ,Microelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2001年05期
  • 【分类号】TN305.7
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