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GFQ—1 SiO2腐蚀清洗机的研制
On the Design and Manufacturing of GFQ-1 SiO2 Scouring Machine
【摘要】 本文阐述了SiO2 腐蚀清洗机的主要结构和适用范围 ,着重介绍了该设备设计与制造过程中的主要技术关键和解决途径 ,以及投入使用后所取得的社会和经济效益
【Abstract】 The structure and application of the SiO 2 Scouring Machine GFQ 1 are described.The emphasis is put on the technical key points in design and manufacturing process,the economical and public benefits are also estimated as the equipment is used.
- 【文献出处】 微电子技术 ,Microelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2001年04期
- 【分类号】TN305.97
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