节点文献

GFQ—1 SiO2腐蚀清洗机的研制

On the Design and Manufacturing of GFQ-1 SiO2 Scouring Machine

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具,请取消加速工具后下载。

【作者】 梁军张燕华严瑞芳

【Author】 LIANG Jun,ZHANG Yan hua,YAN Rui fang (Wuxi Huajing Electronic Equipment Manufacturing Co., LTD,Wuxi Jiangsu,214061,China)

【机构】 无锡华晶电子设备制造有限公司无锡华晶电子设备制造有限公司 无锡214061无锡214061无锡214061

【摘要】 本文阐述了SiO2 腐蚀清洗机的主要结构和适用范围 ,着重介绍了该设备设计与制造过程中的主要技术关键和解决途径 ,以及投入使用后所取得的社会和经济效益

【Abstract】 The structure and application of the SiO 2 Scouring Machine GFQ 1 are described.The emphasis is put on the technical key points in design and manufacturing process,the economical and public benefits are also estimated as the equipment is used.

【关键词】 耐蚀循环平稳
【Key words】 Corrode resistingCirculationSteady
  • 【文献出处】 微电子技术 ,Microelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2001年04期
  • 【分类号】TN305.97
  • 【下载频次】31
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络