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扩散硅绝对压力传感器的补偿方法研究

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【摘要】 本文简要介绍了扩散硅绝对压力传感器的工作原理与结构 ,重点分析了传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数及其温度补偿的方法 ,解决了此类传感器的稳定性问题

【关键词】 压力传感器温度补偿稳定性
  • 【文献出处】 计量与测试技术 ,Metrlogy and Measurement Technique , 编辑部邮箱 ,2001年01期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】7
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