节点文献

扩散硅绝对压力传感器的补偿方法研究

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 张秀珍； 马秀娟； 戴伏生；

【机构】 哈尔滨工业大学威海分校； 哈尔滨工业大学威海分校!威海、264209；

【摘要】 本文简要介绍了扩散硅绝对压力传感器的工作原理与结构 ,重点分析了传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数及其温度补偿的方法 ,解决了此类传感器的稳定性问题

【关键词】 压力； 传感器； 温度补偿； 稳定性；
  • 【文献出处】 计量与测试技术 ,Metrlogy and Measurement Technique , 编辑部邮箱 ,2001年01期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】7
  • 【下载频次】116
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)