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TiO2/Cu超晶格结构表征

Preparation and Structure Characterization of Cu/TiO2 Superlattice

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【作者】 徐跃李永华宫杰

【Author】 XU Yue (Analysis and Test Center, Jilin University, Changchun, 130023, P.R.China) LI Yong hua (Department of Material Sciences, Jilin University, Changchun, 130023, P.R.China) GONG Jie (Department of Physics, Siping Normal College, Siping, 136000, P

【机构】 吉林大学测试中心!长春130023吉林大学材料科学系!长春130023四平师范学院物理系!四平136000

【摘要】 用磁控溅射方法制备 Ti O2 / Cu超晶格 .通过 X射线衍射和电镜手段对其进行测试 ,利用 X射线傅氏线形分析法对超晶格的微观参数进行表征 ,通过 TEM对超晶格的截面形貌进行观察 ,发现其具有柱状生长结构 .

【Abstract】 Cu/TiO 2 superlattice was prepared via magnetron sputtering method. The superlattice was characterized with X ray diffraction, and the TEM and its micro parameters were investigated through Fourier X ray profile analysis. The cross section TEM images indicated that there was columnar structure in the superlattice.

【关键词】 薄膜超晶格线形分析
【Key words】 filmsuperlatticeprofile analysis
  • 【文献出处】 吉林大学自然科学学报 ,Acta Scientiarium Naturalium Universitatis Jilinensis , 编辑部邮箱 ,2001年03期
  • 【分类号】O484.5
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】79
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