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脉冲激光制备薄膜材料的机理
【摘要】 给出脉冲激光作用块状靶材的烧蚀模型 .根据能量平衡原理 ,导出烧蚀面的位置随时间的变化关系 .利用绝热近似、温度连续性条件和能量平衡原理来获得烧蚀面与固液相界面边界条件 .结合热传导方程 ,利用精确解与积分近似法相结合的方案 ,给出固液两相的温度分布与时间和位置的变化关系 ,以及固液相界面的位置随时间的变化规律 ,并将理论结果与实验数据进行比较 .由流体动力学理论 ,得出了脉冲激光产生的等离子体的空间输运方程 ,将此方程与靶材烧蚀率公式结合起来 ,根据实验数据研究了不同激光功率密度和波长对KTN(KTa0 .65 Nb0 .3 5 O3 )薄膜沉积特性的影响 ,得到了一些有价值的结果 ,并对结果进行了详细的讨论
【基金】 湖北省教育厅重大科研项目 (批准号 :2 0 0 0B5 0 0 2 );华中科技大学激光技术国家重点实验室基金资助项目
- 【文献出处】 中国科学(A辑) ,Science in China,Ser.A , 编辑部邮箱 ,2001年08期
- 【分类号】TN249
- 【被引频次】32
- 【下载频次】304