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层板喷注器光刻工艺技术研究

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【作者】 宁建华；

【机构】 中国航天科技集团公司第十一研究所；

【摘要】 本文论述了为研制液体火箭发动机关键件—层板喷注器而采用的光刻工艺技术。本工艺技术是一种交叉性的边缘学科,是微电子领域的光刻技术与精密微机械加工技术相结合的典范,属超精加工。

【关键词】 液体火箭发动机； 层板喷注器； 光刻；
  • 【文献出处】 火箭推进 ,Journal of Rocket Propulsion , 编辑部邮箱 ,2001年02期
  • 【分类号】V463
  • 【被引频次】3
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