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多组元气体、金属脉冲离子源

Multi-element metal and gas pulse ion source

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【Author】 SHI Weidong ZHONG Fu LIU Zhenmin MA Yonghui (National Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams, Dalian University of Technology, Dalian 116024)

【机构】大连理工大学三束材料改性国家重点实验室!大连116024；

【摘要】介绍了多组元气体、金属脉冲离子源的结构、工作原理和功能。给出该源的调试指标为 :引出电压 80kV ;引出脉冲束流 ,Ti+为 1.8A、N+为 1.2A、Ti++N+为 3.0A ;脉冲宽度 2 50 μs ;束斑面积2 2cm(380cm2 ) ;均匀度为± 2 0 %。该源具有多功能、脉冲流强大、束斑大、高电荷态等特点。更多还原

【Abstract】 The article described the structure,principleed and function of a multi-element gas and metal pulse ion source, and demonstrated the regulating index and characteristics of the source.更多还原

【关键词】离子源；脉冲；金属真空弧；
【Key words】 Ion source； Pulse； Metal vacuum arc；

【基金】国家自然科学基金资助

【文献出处】核技术 ,Nuclear Techniques , 编辑部邮箱 ,2001年01期

【分类号】TL503.3
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