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光纤传感器在微机电系统振动测量中的应用

A FIBER OPTIC SENSOR ON MEMS VIBERATION

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【作者】 李鸣明王昭贾书海谭玉山

【Author】 Li Mingming,Wang Zhao,Jia Shuhai,Tan Yishan Institute of Laser & IR,Xi′an Jiao Tong University,Xi′an Shaanxi China 710049

【机构】 西安交通大学机械学院激光所!西安710049

【摘要】 本文介绍的光纤传感器根据 Michelson干涉仪的原理 ,通过测量相干光的干涉条纹的移动来测量反射面的位移 .同时 ,利用宽带光源 ,采用相位跟踪技术测量极微小的位移和位移的方向 .从而 ,既能测量 nm级极微小的振动 ,也能测量 mm级的振动 .为了适应高频振动的测量 ,引入 DSP充当数据处理系统的核心 ,提高处理速度 .该光纤传感器设计巧妙 ,精度高 ,使用方便

【Abstract】 A optic fiber sensor is introduced,in which the principles of Michelson interferometer and phrase tracking approach are combined.The displace of a viberating plane is determined by interferometric fringe number.The wide spectrum light source is adopted to achieve micro displace and its direction by phrase tracking approach.In order to detect high frequency viberation,DSP TMS320C203 is used as core of signal processing system.

【关键词】 干涉仪相位跟踪分光计
【Key words】 InterferometerPhrase tracking approachSpectrometer
  • 【文献出处】 光子学报 ,Acta Photonica Sinica , 编辑部邮箱 ,2001年04期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】11
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