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高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统

A new type gridless hall ion beam assisted deposition system for preparing high quality optic thin films

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【Author】 FENG Yu cai 1,JIANG Jian guo 2 (1 Beijing Oriental Ion Technology High Tech Company,Beijing 100101,China; 2 Beijing Institute of Optoelectronic Technology,Beijing 100010,China)

【机构】北京东方安泰克高技术有限公司；北京光电技术研究所北京100101；北京100010；

【摘要】介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统。并对该系统的特点、性能和应用结果作了叙述。更多还原

【Abstract】 This paper introduces a gridless Hall ion beam assisted deposition system.In this paper,the feature and performance of this ion surce are described.The preliminary results for preparing optic thin films are presented.更多还原

【关键词】无栅霍尔离子源；离子束辅助沉积；光学薄膜；
【Key words】 gridless hall ion source； ion beam assisted deposition； optic thin film；

【文献出处】光学仪器 ,Optical Instruments , 编辑部邮箱 ,2001年Z1期

【分类号】TB43
【被引频次】7
【下载频次】87

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