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Au/PLT/Pt铁电薄膜电容的电学性能

Electrical Properties of Au/PLT/Pt Ferroelectric Film Capacitor

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【作者】 李金华袁宁一李坤汤国英陈王丽华

【Author】 LI Jinhua YUAN Ningyi (Functional Materials Lab. Jiangsu Institute of Petrochemical Technology, Changzhou, 213016, CHN) LI Kun ② TONG K Y ① CHAN H L W ②( ①Dept. of Electronic Information Engineering; ② Dept. Applied Physics, Hong Ko

【机构】 江苏石油化工学院功能材料实验室香港理工大学电子及资讯工程系 常州213016常州应用物理系九龙应用物理系九龙

【摘要】 用 Sol- Gel方法研制了 PL T[(Pb0 .83 L a0 .17) Ti O3 ]铁电薄膜 ,结合非挥发性铁电存储器对铁电电容的要求 ,研究了 Au/ PL T/ Pt铁电电容和漏电流、剩余极化、疲劳、开关特性和揭电常数等性能。对厚度为 0 .4 μm的薄膜 ,5 V时的剩余极化强度 Pr=2 2 μC/ cm2 ,矫顽场强度 Ec=6 0k V/ cm,相对介电常数约 130 0 ,漏电流 Id=3.2× 10 -8A/ mm2 ,开关特性优良。疲劳测试表明 ,对Vpp=10 V的锯齿信号 ,经 4 .5× 10 11周期后 ,剩余极化强度衰减 2 0 %。上述性能表明 ,该 PL T膜能用于非挥发性铁电存储器的试制

【Abstract】 The PLT[(Pb 0.83La 0.17)TiO 3]thin film was prepared by a Sol-Gel method according to the requirements of non-volatile ferroelctric random access memory(FERAM) on ferroelectric capacitor. The electrical properties, such as the hysteresis loop, dielectric constant, leakage current, fatigue and switching characteristic were measured. The results show that the polarization switching is excellent, the remanent polarization is about P r=22 μc/cm 2,coercive field is E c=60 kV/cm, effective dielectric constant K df=1300, leakage current I d=3.2×10 -8 A/mm 2 for a 0.4 μm PLT film at 5 V. Fatigue measurement illustrated the remanent polarization P r was reduced by 20% after 4. 5×10 11 cycles at a peak to peak voltage ,V pp=10 V of saw tooth signal.

【基金】 香港RGC(大学研究基金会)资金资助项目
  • 【文献出处】 固体电子学研究与进展 ,Research & Progress of Solia State Electronics , 编辑部邮箱 ,2001年03期
  • 【分类号】TN384
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】94
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