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VLSI超纯水站设计

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【作者】 刘建伟； 莫德举； 寇玉香；

【机构】 北京化工大学信息科学与技术学院!北京100029； 新疆维吾尔自治区农科院!新疆乌鲁木齐830000；

【摘要】 介绍了清华大学微电子所VLSI超纯水站工艺设计思想及设备选型 ,并阐明了对关键设备选型及材质的技术要求

【关键词】 超纯水站； 设计； 工艺； 设备选型；
  • 【文献出处】 中国给水排水 ,China Water & Wastewater , 编辑部邮箱 ,2001年03期
  • 【分类号】TU991.3
  • 【被引频次】3
  • 【下载频次】101
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