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用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜

Pulsed Laser Deposited Zinc Oxide Films for Surface Acoustic Wave Applications

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【Author】 LIU Yansong 1,WANG Lianwei 1,LI Weiqun 2,HUANG Jipo 1,LIN Chenglu 1 (1.Shanghai Institute of Metallurgy, Chinese Academy of Sciences,Shanghai,200050,China; 2.Shanghai Institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, 200050, China)

【机构】中国科学院上海冶金研究所!上海； 200050；中国科学院上海硅酸盐研究所!上海200050；

【摘要】采用脉冲激光淀积 (PLD)法在单晶Si(10 0 )衬底上淀积了ZnO薄膜。XRD、TEM和AFM分析表明 ,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度。通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火 ,ZnO薄膜的电阻率提高到 10 7Ω·cm。这些结果表明 ,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW )器件的需要。更多还原

【Abstract】 Zinc oxide(ZnO) thin films were deposited on Si(100) by pulsed laser deposition(PLD). XRD, TEM and AFM exhibited the ZnO films were highly c-axis oriented with smooth surface. High resistivity (10 7Ω·cm) of the films could be achieved by varing deposition ambient or annealing in pure oxygen at high temperature. Results above showed the ZnO films deposited by PLD met the demands for surface acoustic wave(SAW) devices.更多还原

【关键词】脉冲激光淀积；氧化锌；压电性；声表面波；
【Key words】 PLD； ZnO； piezoelectricity； SAW；

【基金】国家自然科学基金资助项目

【文献出处】功能材料 ,Journal of Functional Materials , 编辑部邮箱 ,2001年01期

【分类号】TB43
【被引频次】73
【下载频次】263

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