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用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路

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【作者】 梁竹关； 李亚文； 肖玲； 王建； 周开邻； 李萍； 徐晓华； Pay Э.И.； 胡问国；

【机构】 云南大学物理系!昆明650091； 昆明物理研究所!昆明650223；

【关键词】 半导体材料； 扫描电子显微镜； 微结构； 二次电子像； 检测仪； 多层结构； 半导体研究； 显示功能； 信号激励； 半导体硅；
【基金】 国家科学技术部资助项目;国家自然科学基金委资助项目
  • 【文献出处】 电子显微学报 ,Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 编辑部邮箱 ,2001年04期
  • 【分类号】TN306
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