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脉冲激光沉积(PLD)法制备NiZn铁氧体多晶薄膜研究

Study of Polycrystalline NiZn Ferrite Films by Pulsed Laser Deposition

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【作者】 奚小网； 陈亚杰； 周雪琴；

【Author】 XI Xiao wang 1, CHEN Ya jie 2, ZHOU Xue qin 2 1. Wuxi Institute of Technology, Wuxi 214073, China; 2. Department of Physics, Soochow University, Suzhou 215006, China

【机构】 无锡职业技术学院； 苏州大学物理系； 苏州大学物理系 江苏无锡214073； 江苏苏州215006； 江苏苏州215006；

【摘要】 采用脉冲激光沉积 (PLD)法分别在硅和玻璃基片上沉积了 Ni Zn铁氧体多晶薄膜。实验表明 :基片温度、氧气压以及热处理对薄膜的沉积速率、磁性能有很大影响

【Abstract】 Polycrystalline films of NiZn ferrite were deposited on crystal Si and glass substrate by pulsed laser deposition(PLD). The experiments showed that substrate temperature, oxygen pressure and annealing process have great influence on deposition rate and magnetic properties of NiZn ferrite film.

【关键词】 脉冲激光沉积； NiZn铁氧体薄膜； 磁性能；
【Key words】 pulsed laser deposition； NiZn ferrite film； magnetic properties；
  • 【文献出处】 磁性材料及器件 ,Journal of Magnetic Materials and Deuices , 编辑部邮箱 ,2001年06期
  • 【分类号】TM277.4
  • 【被引频次】16
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