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MEMS技术的现状及发展趋势
Present situation and development trend of MEMS technology
【摘要】 主要介绍了MEMS的研究和应用现状 ,分别从市场和技术的角度分析了MEMS的发展趋势。还根据国内研究现状 ,提出了我国发展MEMS的若干设想
【Abstract】 Research and application status of MEMS are introduced, the development trend is analyzed from the angle of market and technology respectively. Based on the present situation in our country, some ideas about developing MEMS in China are put forward.
【关键词】 微电子机械系统；
应用现状；
发展趋势；
【Key words】 micro electromechanical system(MEMS)； application status； development trend；
【Key words】 micro electromechanical system(MEMS)； application status； development trend；
【基金】 国家自然科学基金重大项目资助 ( 5 9995 5 5 0 -2 )
- 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,2001年09期
- 【分类号】TP21
- 【被引频次】54
- 【下载频次】855