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双通道压电式密度传感器的研究

Study on double-channel piezoelectric sensor for liquid density determination

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【作者】 李文鹏赵新生张鹏申大忠

【Author】 LI Wen peng 1, ZHAO Xin sheng 2, ZHANG Peng 2, SHEN Da zhong 2 (1.Metrology Institute of Shandong Province, Jinan 250014, China; 2.Coll.of Chem. and Chem. Engin.,Shandong University, Jinan 250100, China)

【机构】 山东省计量科学研究所山东大学化学与化工学院山东大学化学与化工学院 山东济南250014山东济南250100山东济南250100

【摘要】 在同一压电石英晶片上制备两个石英晶体谐振器 ,实验结果表明双通道之间的相互干扰可以忽略。在石英晶体表面修饰多孔TiO2 膜层 ,可大大提高传感器对液体密度的灵敏度。采用两个修饰不同厚度TiO2 膜层的双通道压电传感器的频率差作为测量信号 ,可以消除液体粘度的影响 ,并获得与液体密度有良好线性关系的工作曲线 ,实现液体密度的测定

【Abstract】 Double channel quartz crystal resonators were prepared on a single piezoelectric quartz crystal disc.It was shown that the interfere between the two channels is negligible.After modifying with a thin mesoporous TiO 2 film, the sensitivity of the piezoelectric resonator to liquid density is significantly improved.By using the frequency difference of two resonators modified with TiO 2 film of different thickness,influence of the liquid viscosity was corrected.The frequency difference between the two channels is in a good linearity with the densities of liquids.The double channel piezoelectric sensors can be used to the determination of densities of liquids.

【关键词】 密度液体压电传感器
【Key words】 densityliquidpiezoelectricsensor
【基金】 山东省自然科学基金项目 (Q99B0 1)
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,2001年08期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】81
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