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微机械电容式压力传感器的变换电路

Converting circuit for micromechanical differential capacitive pressure sensors

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【作者】 沈月婷牛德芳仲崇权

【Author】 SHEN Yue-ting, NIU De-fang, ZHONG Chong-quan (Dept.of Electronics and Info. Engin.,Dalian Univercity of Technology,Dalian 116024,China)

【机构】 大连理工大学电子与信息工程学院!辽宁大连116024

【摘要】 在介绍一种新型微机械差动电容式压力传感器的基础上 ,重点介绍一种为其配套的电容—电压变换电路。并以实验结果反映其电路的优点

【Abstract】 A kind of capacitance to voltage converting circuit designed for a new-type micromechanical differential capacitive pressure sensor is described in detail on the basis of introducing the new-type pressure sensor.The experimental data have been shown to testify the advantage of the circuit.

【基金】 国家“九五”重点科技攻关项目! (96-748-0 2 -0 1/10
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,2001年03期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】6
  • 【下载频次】159
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