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液相外延生长高质量大功率InGaAsP/GaAs半导体激光器研究

A STUDY ON HIGH-QUALITY HIGH POWER InGaAsP/ GaAs LASERS GROWN BY LIQUID PHASE EPITAXY

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【作者】 杨进华高欣李忠辉吴根柱张兴德

【Author】 Yang Jinhua Gao Xin Li Zhonghui Wu Genzhu Zhang Xingde (National Key Laboratory on High Power Semiconductor Laser, Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics, Changchun, 130022)

【机构】 长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室!吉林长春130022长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室!吉?

【摘要】 用改进的液相外延法生长了大功率 In Ga As P/Ga As半导体激光器 ,实验测量和理论分析都表明用该方法生长的单量子阱分别限制异质结构 ,达到了设计要求 ,阈值电流密度为 30 0 A/cm2 ,斜率效率达 1 .32 W/A,具有很高器件质量

【Abstract】 High power InGaAsP/GaAs semiconductor lasers have been grown by liquid phase epitaxy Measurements and theoretical analysis showed that the SQW SCH grown by the method is of high quality and is in good agreement with the design

  • 【分类号】TN248.4
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