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GaAs单晶阈值电压自动测试系统的研究

Study on the auto-test system of GaAs threshold voltage

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【作者】 胡志高; 朱敏; 李传海;

【Author】 HU Zhi-gao, ZHU Min, LI Chuan-hai (National Laboratory for Infrared Physics, Shanghai Instiute of Technical Physics, Shanghai 200083 China;School of Science, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China; Shanghai Institute of Metallurgy, Shanghai 2

【机构】 中科院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室; 合肥工业大学理学院; 中科院上海冶金研究所 上海200083; 安徽合肥 230009; 上海 2000050;

【摘要】 根据GaAs阈值电压的测试原理,选取了一种比较精确的实验测试计算方法。在此基础上,分别设计了GaAs 单晶阈值电压均匀件自动测试系统的硬件电路和软件程序,并利用此系统对GaAs样品进行了实际测量,效果良好。

【Abstract】 According to the defining formula of GaAs threshold voltage, a kind of more accurate testing and calculating method is selected. We design the hardware and software of the auto-test system of the uniformity of GaAs threshold voltage based on that method. Finally, we measure the GaAs sample by the auto-test system, the effect is very good.

【关键词】 GaAs; 阈值电压; 均匀性; 自动测试系统;
【Key words】 GaAs; threshold voltage; uniformity; auto-test system;
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,2001年11期
  • 【分类号】TN406
  • 【下载频次】42
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