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压力传感器输出的非线性拟合方法

A fitting method of non-linearity of pressure sensors output

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【作者】 吕惠民雷天民吴民强

【Author】 L■ Hui-min; LEI Tian-min; WU Min-qiang (Dept. of Applied physics, Xi’an University of Technology, Xi’an 710048, China)

【机构】 西安理工大学应用物理系!陕西西安710048

【摘要】 在讨论了压力传感器非线性输出误差分布规律的基础上,提出了非线性拟合方法,介绍了误差修正即拟合因子中三个基本参量(A,ω,φ)的取值方法。通过对两个压力传感器实际输出数据的修正,使其线性度分别由拟合前的l.89%、206%降低为拟合后的0.69%、0.33%。

【Abstract】 On the basis of discussion of error distribution of non-linearity of pressure sensors, a new fitting method is presented. It introduces the taking-value method for three basic parameters (A, ω, φ)in error modification, i.e. fitting factors. Through the fitting of realistic output data of two pressure sensors, the non-linearity degrees are reduced from 1 .89% and 2.06% before fitting to 0.69% and 0.33% after fitting respectively.

【关键词】 压力传感器误差分布线性度
【Key words】 pressure sensorserror distributionlinearsity
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,2001年08期
  • 【分类号】TP212.12
  • 【被引频次】1
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