节点文献

CVD金刚石膜制备方法及其应用

Synthesis and application of CVD diamond films

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 戚学贵； 陈则韶； 陈莉；

【Author】 QI Xue-gui, CHEN Ze-shao, CHEN Li (College of Engineering Science, University of Science and Technology, Hefei 230027, China)

【机构】 中国科学技术大学工程科学学院!安徽 合肥 230027；

【摘要】 介绍了金刚石膜的应用和低压下化学汽相沉积金刚石膜的主要方法及其最新进展，并对各种方法的优缺点作了简要评述。

【Abstract】 The paper reviews the application of diamond films and the methods used for chemical vapor deposition diamond films at low pressure. The advantages and disadvantages of these methods are also discussed respectively.

【关键词】 金刚石膜:化学汽相沉积； 热丝； 等离子体；
【Key words】 diamond film； CVD； hot-filament； plasma；
【基金】 国家自然科学基金资助项目（59976038）
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,2001年06期
  • 【分类号】TN304.18
  • 【被引频次】7
  • 【下载频次】413
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)