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溅射离子泵控制电源的自动保护功能

Auto-protection Function of Sputter Ion Pump’s Control Power Supply

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【作者】 仇华兴； 唐景远；

【Author】 CHOU Hua xing 1, TANG Jing yuan 2 (1 Shanghai Vacuum Factory, Shanghai 201709,China; 2 Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology, Shanghai 200233,China)

【机构】 上海真空泵厂!上海201709； 上海市计量测试技术研究院!上海200233；

【摘要】 本文介绍溅射离子真空泵控制电源自动保护功级的几种常规方法 ,重点介绍电源的可能出现的一种罕见故障及其解决的方法

【Abstract】 This text introduces some regular auto protection methods of sputter ion pump’s control power supply, and it mainly demonstrated the infrequent malfunctions that may be occurred to the power supply and the relevant solutions to these problems.

【关键词】 溅射离子真空泵； 电源； 自动保护；
【Key words】 sputter ion pump； power supply； auto-protection；
  • 【分类号】TB752.52
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