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Sol-Gel法硅基铁电薄膜研究
【摘要】 介绍了用溶胶 凝胶方法制备Pb(Zr0 .53Ti0 .4 7)O3(PZT)铁电薄膜的工艺流程。以硝酸锆、醋酸铅和钛酸四丁酯为原料 ,在 90 0℃ ,30min退火条件下制备了硅基PZT铁电薄膜。实验分析结果显示 ,PZT铁电薄膜的晶化很完善。研究了PZT铁电薄膜与硅之间的界面及其对铁电薄膜品质的影响。并在此基础上实现了制备PZT铁电薄膜的低温改进工艺。
【基金】 国家自然科学基金!资助项目 (6 980 6 0 0 7)
- 【文献出处】 真空科学与技术 , 编辑部邮箱 ,2000年06期
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