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压漏孔校准装置性能测试

PERFORMANCE TESTS OF CALIBRATION APPARATUS OF PRESSURE LEAK

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【作者】 张涤新张建军许珩冯焱龚月莉

【Author】 ZHANG Di-xin, ZHANG Jian-jun, XU Heng, FENG Yan, GONG Yue-li (Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China)

【机构】 兰州物理研究所!甘肃兰州73000

【摘要】 正压漏孔校准装置可采用定容法和定量气体动态比较法进行正压漏孔的校准。定容法的校准范围是100~5 × 10-3 Pa· L/s,不确定度小于9.10%;定量气体动态比较法的校准范围是1×10-2~5×10-5Pa·L/s,不确定度小于14.20%。

【Abstract】 The methods of the constant volume and the dynamic comparison of quantitative gas are used in the calibration apparatus of pressure leak to calibrate the pressure leak. The calibration range of the leak rate is from 100 to 5 x 10-3 Pa’ L/s and the uncertainty is less than 9. 10 % with the method of the constant volume; the range is from 1 x 10 -2to 5 x 10 -5 Pa’ L/s, and the uncertainty is less than 14. 20 % with the method of the dynamic comparison of qauantitative gas.

  • 【文献出处】 真空与低温 ,VACUUM AND CRYOGENICS , 编辑部邮箱 ,2000年03期
  • 【分类号】TB7
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