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乙炔-氧气火焰沉积高质量、致密金刚石厚膜

Synthesis of High Quality and Compact Diamond Thick Films in Acetylene-oxygen Flame

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【作者】 张宏志； 姚英学； 陈朔冬；

【Author】 Harbin Institute of Technology Zhang Hongzhi Yao Yingxue Chen Shuodong

【机构】 哈尔滨工业大学!150001；

【摘要】 通过实验分析了沉积温度、乙炔 -氧气流量配比对金刚石厚膜质量的影响及高质量金刚石厚膜的生长过程

【Abstract】 The effects of the deposition temperature and the oxygen to acetylene flow ratio on the quality of diamond thick films are analyzed.The growth process of diamond thick films is studied.

【关键词】 金刚石厚膜； 燃焰法； CVD；
【Key words】 diamond thick film； combustion flame method； chemical vapor deposition；
  • 【文献出处】 新技术新工艺 ,NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS , 编辑部邮箱 ,2000年04期
  • 【分类号】TG71
  • 【被引频次】4
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