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制备有机聚合物脊型光波导的新方法

New Method for Fabricating Organic Polymer Ridge Waveguides

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【作者】 单吉祥； 应再生； 沈启舜； 曹庄琪；

【Author】 SHAN Ji?xiang,YING Zai?sheng,SHEN Qi?Shun,CAO Zhuang?qi (Department of Applied Physics National Key Laboratory on Fiber?Optic Local Area Networks and Advanced Optical Fiber Communications Systems Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200030,Chi

【机构】 上海交通大学应用物理系区域光纤通讯网及新型光通信系统国家重点实验室!上海200030； 上海交通大学应用物理?；

【摘要】 详细讨论了DR1 /PMMA聚合物波导在紫外光照射下 ,各个模式的有效折射率 ,薄膜厚度 ,以及紫外可见吸收谱的变化情况。并在此基础上 ,提出了以金属掩模 ,利用光漂白技术制备聚酰亚胺脊型光波导的新方法。

【Abstract】 The variations of the effective refraction index,film thinkness and UV?visible light absorption spectrum of DR1/PMMA polymer waveguides exposured under UV are discussed in detail.On this basis a new method for fabricating polyimide ridge waveguides by photobleaching technique and using metal mask is proposed.

【关键词】 聚合物波导； 光漂白； 有效折射率；
【Key words】 Polymer waveguide； Photobleaching； Effective defractive index.；
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,MICROFABRICATION TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,2000年02期
  • 【分类号】TN814
  • 【被引频次】3
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