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EBAS-1型电子注分析仪数据采集及控制系统

Data Acquisition and Control System in Model EBAS 1 Electron Beam Analyzer

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【作者】 张今朝； 张福安；

【Author】 ZHANG Jin zhao, ZHANG Fu an (Institute of Electrical Engineering, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China)

【机构】 中国科学院电工研究所!北京100080；

【摘要】 简要介绍了电子注分析仪数据采集及控制系统的重要性和基本结构 ,然后着重介绍了该系统的软、硬件设置及其工作原理。

【Abstract】 The importance and the structure of data acquisition and control system in Model EBAS I Electron Beam Analyzer are briefly introduced. The hardware, software and the working principle are discussed in detail.

【关键词】 电子注； 数据采集； 控制；
【Key words】 Electron Beam； Data Acquisition； Control；
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,MICROFABRICATION TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,2000年02期
  • 【分类号】TP274
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