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多孔硅膜微结构的透射电镜研究

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【作者】 李刚； 钟以诚； 戴道宣；

【机构】 复旦大学物理系近代物理实验室!上海200433；

【摘要】 用透射电镜观察到由Ｓｉ（１１１）衬底生长的多孔硅膜具有双层结构和明显的不均匀微结构，初步探讨了荧光机理与微结构的关系．

【关键词】 多孔硅； 微结构； 透射电镜；
  • 【文献出处】 物理实验 ,PHYSICS EXPERIMENTATION , 编辑部邮箱 ,2000年07期
  • 【分类号】O4-33
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