【摘要】 由于直线驱动的工作台滑动面存在着接触运动，所以滑动面之间不可避免地存在着非线性 摩擦．它严重影响着高精度微进给的特性．通过设计扰动观测器补偿非静态摩擦．用其补偿摩擦对 系统的影响，可以得到精确的速度／位置控制，并且没有由于速度转换时的零速度间隔．更多还原

【Abstract】 Contact motion exists in PMLSM table drive systems, so among the sliding surface of the table there must be nonlinear friction. This paper presents a disturbance-observer compensating the nonlinear friction. Using the observer, the precise velocity/position control can be achieved, and zero velocity interval at the velocity reversal does not exist.更多还原