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电子束物镜分析

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【作者】 方一兵； 赵春民； 尹明；

【机构】 山东工业大学自动化工程系!济南250061；

【关键词】 电子束流； 磁偏转； 电子束曝光系统； 光学设计； 电子束能量； 孔径角； 恒流源； 单位增益带宽； 场效应管； 扫描系统；
  • 【文献出处】 山东工业大学学报 ,JOURNAL OF SHANDONG UNIVERSITY OF TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,2000年01期
  • 【分类号】TH74
  • 【下载频次】20
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