【摘要】 X射线形貌术是利用X射线在晶体中传播及衍射的动力学原理 ,根据晶体中完美部分和不完美部分衍射衬度的变化和消光规律 ,研究晶体微观结构缺陷的一种有效方法 ,与其他方法相比 ,它的优点是可直观地对较大块的晶体及其器件作非破坏性的整体内部观察。它的缺点是曝光的时间长 ,分辨率没有电镜高。同步辐射光源的使用不仅克服了常规X射线形貌术曝光时间长的缺点 ,也可提高形貌像的分辨率 ,尤其重要的是它为研究材料的结构相变和晶体生长中缺陷的形成、迁移及再结晶等动态变化过程提供了可能 ,从而为X射线形貌术这一古老技术注入了新的活力。北京正负电子对撞机提供的同步辐射已实现电子能量 2 .2GeV、电子束流 1 0 0mA ,这时的同步辐射功率为 2 1kW ,光源中心亮度为 1 0 13 ～ 1 0 14 phs/(s·mm2 ·mrad2 ·0 .1 %BW ) (光子能量 =5 .9keV处 ) ,比常规转靶X光机的特征谱高度高出 1 0 0 0倍以上 ,可以利用的光子能量为 1 0eV～2 5keV。在北京同步辐射装置 (BSRF)上已建立了 1 1个从真空紫外到硬X射线波段的实验站 ,X射线形貌学实验站就是其中一个。同步辐射的强连续谱提供了拍摄白光形貌相的条件 ,可快速拍摄众多衍射矢量 ,一次拍摄定出Burger’s矢量 ,并可进行动态形貌的实时观察和再结晶过程的研究。白光?更多还原