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ITO真空镀膜设备结构设计分析

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【作者】 郑光文；

【机构】 华东冶金学院!马鞍山243002；

【摘要】 简单阐述了ITO镀膜工艺流程 ,并重点分析了真空镀膜设备结构设计特点。

【关键词】 真空室； 镀膜； 耙座； 主轴； 旋转阀；
  • 【文献出处】 机械设计与制造 ,MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE , 编辑部邮箱 ,2000年03期
  • 【分类号】TB75
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