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用连续波CO2激光对氮化硅陶瓷打孔的实验研究

EXPERIMENTAL INVESTIGATION ON LASER DRILLING OF Si3N4 CERAMICS WITH CW CO2 LASER

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【作者】 陈可心； 张有； 廖健宏； 王卫乡；

【Author】 CHEN Kexin; WANG Weixiang; ZHANG You; LIAO Jianhong (Institute of Quantum Electronics, South China Normal University, Guangzhou 510631, China)

【机构】 华南师范大学量子电子学研究所!广州　510631； 广东省邮电管理局；

【摘要】 报导用连续波ＣＯ２激光加工机对氮化硅陶瓷的激光打孔试验，获得了深径比达１８．７５的结果．

【Abstract】 The test for laser of Si3N4 ceramics by CW CO2 laser processing system is reported. The result shows that the proportion of depth to diameter is 18.75.

【关键词】 连续波CO2激光加工系统； 氮化硅陶瓷； 激光打孔；
【Key words】 CW CO2 laser processing system； Si3N4 ceramics； laser drilling；
  • 【文献出处】 华南师范大学学报(自然科学版) ,JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY , 编辑部邮箱 ,2000年01期
  • 【分类号】TQ174
  • 【被引频次】8
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