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X射线干涉仪实现扫描探针显微镜样板线间距纳米测量

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【作者】 王林； 李达成； 曹芒； 曹世志； L.Koenders； U.Kuetgens； P.Becker；

【机构】 清华大学精密测量技术及仪器国家重点实验室!北京1000842； 中国计量科学研究院长度处!北京1000133； 联邦德国物理技术研究院!不伦瑞克38116； 德国； 联邦德国物理技术?；

【摘要】 X射线干涉仪以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位 ,可以实现亚纳米精度的微位移测量。提出了将 X射线干涉仪和扫描隧道显微镜结合起来 ,利用单晶硅的晶格尺度测量扫描探针显微镜样板节距的技术方案 ,并进行了实验研究

【关键词】 X射线干涉计量术； 纳米测量； 扫描探针显微镜传递基准； 扫描隧道显微镜；
【基金】 国家自然科学基金!( No.596750 79);德国物理技术研究院资助项目
  • 【文献出处】 光学学报 ,Acta Optica Sinica , 编辑部邮箱 ,2000年12期
  • 【分类号】TH74
  • 【被引频次】8
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