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宽带微波MEMS开关

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【作者】 朱健； 林立强； 林金庭； 吴汉俊； 陈新宇；

【机构】 南京电子器件研究所!210016；

【关键词】 宽带微波； 插入损耗； 平面波导； 驱动电压； 网络分析仪； 隔离性； 金属接触； 介质膜； 下电极； 金属薄膜；
  • 【文献出处】 固体电子学研究与进展 ,Research & Progress of Solia State Electronics , 编辑部邮箱 ,2000年04期
  • 【分类号】TM564
  • 【被引频次】2
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