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光热激励的硅基双层微机械悬臂梁的特性研究及模拟优化

THE PERFORMANCE AND OPTIMIZATION OF THE SILICON BI-MATERIAL CANTILEVER EXCITED BY LIGHT AND HEAT

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【Author】 LIU Yue-ming , LIU Jun-hua, ZHANG Shao-jun 1 (Xi’an Jiaotong University, Shanxi Xi’an 710049, China) (1. Xi’an University of Technology , Shanxi Xi’an 710048, China)

【机构】西安交通大学!陕西西安710049；西安理工大学!陕西西安710048；

【摘要】本文研究了硅基双层微机械悬臂梁在光热激励下的挠曲特性和频率特性 ,并利用建立的数学模型进行了模拟和优化。从而为新型传感器的研制提供了理论分析和优化设计的基础更多还原

【Abstract】 The performance of the bi-material silicon microcantilevers excited by light and temprature is investigated in this paper.the simulation and optimization results are given based on the theoritical model ,which is the important bases of one kind of the novel sensors.更多还原

【关键词】硅基双层微悬臂梁；光热激励；特性研究；仿真优化；
【Key words】 bi-material silicon microcantilever； Light and heat excitation； Performance research； Simulation and optimization；

【基金】国家自然基金! (6 9776 0 37) ;陕西省计划科学研究资助! (97C12 )

【文献出处】功能材料与器件学报 ,JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES , 编辑部邮箱 ,2000年01期

【分类号】TP212
【被引频次】3
【下载频次】107

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