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成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的影响

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【作者】 薛永薰； 邬兰； 王鹏；

【机构】 天津天龙科技公司!天津300163；

【关键词】 感光材料； 成膜树脂； 重氮萘醌体系； 抗蚀材料；
  • 【文献出处】 感光科学与光化学 ,PHOTOGRAPHIC SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY , 编辑部邮箱 ,2000年01期
  • 【分类号】TN305.704
  • 【被引频次】5
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