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微光电子集成灵巧象素器件
Research on Micro-optoelectronic Integrated Smart Pixels
【摘要】 我们采用 MBE生长出大周期 Ga As/ Al Ga As多量子阱 (MQW)外延材料 ,研制了适用于倒装焊结构的自电光效应器件 (SEED)列阵 ,并与 Si CMOS电路通过倒装焊工艺集成为微光电子集成灵巧象素器件。通过对光电特性测试表明 ,器件具有良好的光探测和光调制性能。
【Abstract】 GaAs/AlGaAs multlple quantum well (MQW) structure was grown by molecular beam epitaxy.We have researched and fabricated self electro optic effect device (SEED) arrays for flip chip bonded devices.Some investigation on opotelectronic CMOS SEED smart pixels using a hybrid integration of SEED arrays flip chip bonding directly on silicon CMOS circuits is reported.The measurement results under applied biases show the good optoelectronic characteristics of devices.
【关键词】 光电子器件；
SEED列阵；
灵巧象素；
混合集成；
【Key words】 Optoelectronic devices； SEED array； smart pixels； hybrid integration；
【Key words】 Optoelectronic devices； SEED array； smart pixels； hybrid integration；
【基金】 国家“八六三”计划资助项目;国家自然科学基金资助项目 !( 698962 60 ;6978980 2 )
- 【文献出处】 光电子·激光 ,Journal of Optoelectronics.laser , 编辑部邮箱 ,2000年02期
- 【分类号】TN491
- 【被引频次】7
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