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衍射微透镜列阵掩模制作软件的设计

Design of Mask Manufacturing Software for Diffractive Microlens Arrays

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【作者】 白临波邱传凯

【Author】 BAI Lin-bo,QIU Chuan-kai (State Key Laboratory of Optical Technologies for Microfabrication, Institute of Optics and Electronics,Chinese Academy of Sciences,Chengdu 610209,China)

【机构】 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!四川成都610209

【摘要】 研究了衍射微透镜列阵的设计方法及 CIF格式掩模数据的数据结构与生成方法 ,设计了一套实用软件 ,采用图形切割、跟踪计算等方法 ,解决了生成子孔径为矩形、六方形及圆环扇形的衍射微透镜列阵掩模的问题 ,满足了实际系统对衍射微透镜列阵子孔径形状的各种需求。

【Abstract】 The design method for diffractive microlens arrays,the data struc t ure of CIF format mask data and their generating method are investigated in the paper.A practical software is designed.The problems in generating the masks for d iffractive microlens arrays with sub-aperture shapes of rectangular,hexagon,cir que-sector are solved by adopting the methods of image segmentation and trackin g algorithm,thus the various requirements of the practical systems for the sub- apertures of the diffractive microlens arrays are fulfilled.

  • 【文献出处】 光电工程 ,OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING , 编辑部邮箱 ,2000年05期
  • 【分类号】TP319
  • 【被引频次】1
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