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用于分频的闪耀光栅设计及衍射行为研究

Design of Blazed Grating Used for Frequency Division and Study on Its Diffraction Action

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【Author】 WANG Wei 1,XU Jun zhong 1,LI Yong ping 1,LI Tao 2,FU Shao jun 2 (1.Department of Physics,University of Science and Technology of China,Hefei 230026,China; 2.National Synchrotron Radiation Laboratory,Hefei 230027,China)

【机构】中国科学技术大学物理系!安徽合肥230026；国家同步辐射实验室!安徽合肥230027；

【摘要】详细地介绍了用于分频的闪耀光栅设计方法 ;推导了影响元件性能的衍射效率公式 ;并研究了纵横向工艺误差对其衍射行为的影响。模拟结果显示在 8%和 5%纵横向相对误差范围内 ,该闪耀光栅具有良好的分色效果。更多还原

【Abstract】 A design method used in blazed grating for frequency division is presented in the paper in detail.A diffraction efficiency equation affecting element function is derived.The influence of longitudinal and transverse technological errors on diffraction action is studied.The simulation results show that within the range of 8% longitudinal and 5% transverse relative error the blazed grating has a good dichroic effect.更多还原

【关键词】闪耀光栅；衍射效率；刻蚀误差；
【Key words】 Blazed gratings； Diffraction efficiency； Etching errors.；

【基金】国家 8 63 -4 16高技术研究计划资助项目

【文献出处】光电工程 ,OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING , 编辑部邮箱 ,2000年02期

【分类号】TN24
【被引频次】15
【下载频次】305

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