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一种快速超高真空保护系统

A fast ultrahigh vacuum protection system.

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【作者】 徐锡林； 汪啸； 姚传荣； 光霞；

【Author】 Xu Xlin, Wang Xiao, Yao Chuanrong, Guang Xia (National Synchrotron Radiation Lab, University of Science and Technology of China, Hefei, 230029)

【机构】 中国科学技术大学国家同步辐射实验室!合肥； 230029；

【摘要】 为了满足同步辐射光源光束线和实验站真空联锁保护系统的需要 ,本实验室研制出超高真空计、快阀及快阀控制器。本文介绍超高真空计及快阀控制器的设计 ,给出了光束线和实验站真空联锁保护系统的应用实例。

【Abstract】 The designs of vacuum sensor, fast closing valve and its controller are described. They are used as main components of vacuum interlocking protection system for beamlines and experimental stations of synchrotron radiation source. An example of application is given.

【关键词】 真空计； 快阀； 快阀控制器； 真空联锁保护；
  • 【文献出处】 分析仪器 ,ANALYTICAL INSTRUMENTATION , 编辑部邮箱 ,2000年03期
  • 【分类号】TL5
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