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半导体和集成电路无损显微分层内窥的新方法

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【作者】 肖玲； 李亚文； 梁竹关； 李萍； 徐晓华； 王建； 周开邻； РАУЭ.И.； 胡问国；

【机构】 云南大学物理系； 昆明物理研究所；

【关键词】 微分层； 微电子器件； 多层结构； 表面层； 二次电子像； 托莫； 显微镜照片； 微结构； 检测仪； 扫描电子显微镜；
【基金】 国家科学技术部,国家自然科学基金委员会;云南省应用基础研究基金委员会资助研究项目
  • 【文献出处】 电子显微学报 ,JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY , 编辑部邮箱 ,2000年04期
  • 【分类号】TN407
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】25
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