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TiN/TaN多层膜原子力显微镜图像的多重分形谱

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【作者】 熊刚； 孙霞； 刘文汉； 吴自勤；

【机构】 中国科学技术大学物理系!合肥230026； 中国科学技术大学基础物理中心!合肥230026；

【关键词】 多重分形谱； TiN/TaN； 原子力显微镜； 表面形貌； 分形体； 衬底温度； 溅射功率； 粗糙度； 反应溅射； 分布概率；
【基金】 国家自然科学基金资助项目! (195 740 44 )
  • 【文献出处】 电子显微学报 ,JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY , 编辑部邮箱 ,2000年04期
  • 【分类号】O484
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】116
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