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薄层方块电阻自动测量法

The Automatic Measurement of Sheet Resistance

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【作者】 张军琴顾瑛

【Author】 Zhang Junqin Gu Ying

【机构】 西安电子科技大学微电子研究所西安电子科技大学微电子研究所

【摘要】 文中给出了一种由配有IEEE-488接口的恒流源、电压表、开关矩阵和计算机组建自动测量系统的方法。利用该系统可以方便地测得薄层方块电阻。

【Abstract】 In this paper, a method is introduced to set up an automatic measurement system which is made of constant current source unit, voltage meter, switch matrix and computer with IEEE- 488 interface. The sheet resistance can be conveniently measured using this system.

  • 【文献出处】 电子测量技术 ,Electronic Measurement Technology , 编辑部邮箱 ,2000年02期
  • 【分类号】TM934.1
  • 【被引频次】9
  • 【下载频次】285
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