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多晶硅薄膜材料与器件研究进展
Progress in Research on Polycrystalline Silicon Film and Device
【摘要】 多晶硅薄膜材料一直在半导体领域中扮演着重要角色。综述了多晶硅薄膜材料及其器件的特点、制备方法及研究进展。
【Abstract】 Polycrystalline silicon film has played a dominant role in the area of semiconductor devices. Thecharacteristics , manufacturing methods, and progress in research on polycrystalline silicon film and device are reviewed.
【关键词】 多晶硅薄膜；
多晶硅薄膜器件；
应用；
【Key words】 polycrystalline silicon film.polystalline silicon film device； application；
【Key words】 polycrystalline silicon film.polystalline silicon film device； application；
- 【文献出处】 材料导报 ,Materials Review , 编辑部邮箱 ,2000年07期
- 【分类号】TB383
- 【被引频次】12
- 【下载频次】344