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Nb2O5对TiO2响应TMA气敏特性的改善

Improvment of TMA Gas-sensitive Character of TiO2, to Nb2O5

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【作者】 裴素华； 赛道建； 孟繁英； 吴家琨；

【Author】 Pei Suhua; Sai Daojian; Meng Fanyin; Wu Jiakun (Semiconductor Institute. Center of Measurement. Jinan 250014) (Department of Physics. Ji Lin University. CHang Chun 130023)

【机构】 山东师大半导体研究所生物系!济南 250014； 吉林大学物理系电子工程系!长春 130023；

【摘要】 在金属氧化物ＴｉＯ２中，掺入另一种金属氧化物Ｎｂ２Ｏ５，使得原响应三甲胺（ＴＭＡ）气体灵敏度和降低器件阻值等方面，均有突破性进展．

【Abstract】 The doping of Nb2O5, in metal oxide TiO2 made the TMA gas character improved and device’s resistance is decreased greatly

【关键词】 Nb2O5； TiO2； 敏感特性；
【Key words】 Nb2O5 TIO2 sensitive Character；
  • 【文献出处】 传感技术学报 ,JOURNAL OF TRANSCLUCTION TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,2000年01期
  • 【分类号】TN304.92
  • 【被引频次】18
  • 【下载频次】57
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