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硅压阻式传感器性能影响因素的研究

Research on the Properties of Piezoresistive Transducer

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【Author】 ZHU Mu-cheng, XIA Ji (Dept. of Electromechanical Engineering, Southwest Ins. of Tech., Miangyang 621002, China) ZHANG Li-hong (Luoyang College of Higher Professional Training, Luoyang 471000, China) LIU Qiang (No. 403 Research Office, CARDC, Mianyang 622

【机构】西南工学院机电工程系!四川绵阳621002；洛阳工业高等专科学校!河南洛阳471000；中国空气动力研究与发展中心403室!四川绵阳622653；

【摘要】对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析，并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析，给出了部分实验数据与理论分析。更多还原

【Abstract】 The factors having influence upon the properties of piezoresistive transducer is analyzed, and the sensitivity of the ring sensitive part, some experimental data and theory study are presented in this paper.更多还原

【关键词】压阻式传感器；灵敏度；分析；研究；
【Key words】 Piezoresistive transducer； Sensitivity； Analysis； Research；

【基金】中国工程物理研究院院外基金!98030413

【文献出处】兵工自动化 ,ORDNACE INDUSTRY AUTOMATION , 编辑部邮箱 ,2000年02期

【分类号】TP212
【被引频次】11
【下载频次】350

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